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标题: 最先进的光刻机 很快将进入中国
来源: 电脑报/日期: 2018-09-23

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中兴事件以来,芯片一直作为国人心中的痛。众所周知,作为半导体芯片生产过程中最重要的一环,光刻机尤其是高端光刻机设备也备受关注。然而国内半导体技术的发展却受到上述关键设备等的掣肘。

目前,光刻机大厂荷兰设备商阿斯麦 (ASML) 已经占据了高达80%的市场份额,垄断了高端光刻机市场。更关键的是,ASML已经成为全球唯一一家能向客户供应最先进EUV光刻机的设备商。而EUV光刻机售价都超过1亿美元,落后EUV一代的ArF光刻机平均售价也在4000万至5000万欧元左右,可见光刻机的技术门槛极高。

尽管全球第二大晶圆代工厂商Globalfoundries(格罗方德,格芯)、第三大晶圆代工厂商台UMC(联电)均已放弃7nm制程以及更先进工艺的研发,但ASML仍然对EUV光刻机的前景表示看好,同时也对未来中国市场客户7nm光刻订单信心满满。

近日,ASML中国区总裁沈波一上任,就参加中国集成电路制造年会,并接受了媒体专访。

此前有消息指出,中芯国际今年已向ASML订购了一台EUV光刻机,预计明年交付,用于7nm工艺技术研发。

而在传统的沉浸式光刻机方面,沈波表示:“ASML的光刻机一直都有在国内销售,2018年下半年ASML已开始出货最先进的NXT:2000i,这台ASML最先进的设备也将很快在中国市场看到。”

另外,就DUV光刻机而言,早先有媒体报道,长江存储、上海华虹半导体分别向ASML订购了193纳米浸没式光刻机和193纳米双极沉浸式光刻机NXT:1980Di,分别用于存储芯片制造、晶圆代工等制造。

中国大陆市场正对ASML越来越重要。相较于ASML前任的韩裔总座,此次换上了中国背景的沈波,似乎也显示出了ASML深耕本地市场的决心。

根据ASML 2018年一、二季财报显示,一季度中国大陆市场光刻机销售占比20%,二季度中占比19%,与美国市场基本持平,并且超过了中国台湾地区。预计2018年EUV光刻机的产量20台,2019年EUV光刻机的产能可提升到30台,到2020年EUV光刻机的产能可进一步上升到40台。

中国半导体产业要发展,除了技术设备,人才也很重要。我国电子信息产业缺乏相关领域的人才,随着集成电路产业的快速发展,人才短板已成为不争的事实。

对此,沈波说道:“ASML致力于为中国光刻行业培养更多的人才,为未来将进入集成电路行业的大学生输送知识。”沈波表示,ASML注重国内整体半导体人才的培养,以及科普教育的推广。

今年3月份,ASML与上海集成电路研发中心合作,在上海成立了第一个培训中心,协助行业培训高端工程技术人才。另外,ASML还在深圳和北京设有上百人的研发中心,负责计算光刻和量测设备关键模组的研发。

(本文内容除特别注明外均取自各新闻媒体,并不代表本网立场!)
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